NDIR NF₃传感器模块是一款高可靠性的非分散红外（NDIR）传感器，专为半导体制造环境中对三氟化氮（NF₃）的精确检测而设计。凭借优异的稳定性、快速的响应与恢复速度以及可靠的工作范围，该传感器能够确保气体监测的准确性和一致性。该产品已优化用于集成到SENKO的SI-H100系列中，为关键安全与工艺应用提供可靠的性能保障。
NDIR NF₃ 传感器卡匣是一款高可靠性的非分散红外 (NDIR) 传感器， 专为在半导体制造环境中精确检测三氟化氮 (NF₃) 而设计。 它具有出色的稳定性、快速的响应和恢复时间，以及宽广的工作范围，确保气体监测的准确性和一致性。 该传感器优化用于集成在 SENKO SI-H100 系列中，能够在关键的安全和工艺应用中提供可靠性能。
- 测量范围: 0–50 ppm
- 分辨率: 1 ppm
- 响应时间: T62.5 < 20 秒
- 精度: ≤ ±20% 测量值
- 最低检测限 (LDL): 4 ppm
- 出厂报警值: 10 ppm / 20 ppm
- 使用寿命: > 24 个月
- 工作条件: 10℃ ~ 40℃, 0–90% RH (无冷凝)
- 优异的选择性: 对 IPA、乙醇或 Galden 无交叉敏感性
| Performance Characteristics | |
|---|---|
| Sensor Type | NDIR (Non-Dispersive Infrared) |
| Measuring Gas | NF₃ (Nitrogen trifluoride) |
| Measuring Range | 0 ~ 50 ppm |
| Response Time (T₆₂.₅) | < 20 seconds |
| LDL | 4 ppm |
| LAL | 10 ppm |
| Alarm 1 | 10 ppm |
| Alarm 2 | 20 ppm |
| Accuracy | ≤ ±20% of measured value |
| Resolution | 1 ppm |
| Lifetime | > 2 years |
| Calibration Gas | NF₃ (20 ~ 40 ppm) |
| Warm Up Time | 60 minutes |
| Environmental | |
| Temperature Range Continuous | 10℃ to +40℃ |
| Operating Humidity Range | 0 to 90% non-condensing |
客户支持
CHN
